
公司拥有研发中心和分析测试中心,获得多项相关发明及实用新型专利。
目前,公司的超纯气体纯化器广泛用于半导体、大规模集成电路、MAMS、LED、TFT、单晶硅多晶硅及硅外延、光伏太阳能、冶金、石化、碳化硅、氮化镓以及科研开发等多个行业领域近千家单位。
公司主要生产:超纯气体纯化器;催化剂、吸附剂、Getter;超纯气体现场供应及运营管理;PSA装置;工业尾气回收装置。其中N2、H2、O2、Ar、He等产气纯度达到9N,单项杂质脱除至0.1ppb。
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